Lijdensweg is eindelijk ten einde voor ASML

De weg was lang en vol uiterst kostbare obstakels. Maar na vijftien jaar kan EUV bijna volwassen worden verklaard. Door de hypermoderne machines van ASML kunnen Apple, Samsung, Tesla en alle andere hightechontwikkelaars ter wereld óók door. Dus ruim baan voor kunstmatige intelligentie, zelfrijdende auto's en het berekenen van nuttige conclusies uit enorme informatiegeheugens.

Lijdensweg

De nieuwste chipmachines die werken met extreem ultraviolet (EUV) licht, zorgen dat chips zich de komende twintig jaar kunnen blijven verbeteren. Maar wat was de weg lang, een lijdensweg bijna. ASML en andere belanghebbenden investeerden vele miljarden euro's. Meer dan tien jaar later dan aanvankelijk gedacht kunnen de investeringen nu worden terugverdiend. Met dit jaar 12, volgend jaar 24 en het jaar daarop 48 machines van 110 miljoen euro per stuk wordt het zelfs een geldmaker voor ASML. Een die de omzet van het Veldhovense bedrijf in 2020 tot 11 miljard euro doet opstuwen.

Onderzoek

In de jaren 80 werd er in Japan al nagedacht over het gebruik van EUV-licht voor het belichten van de minuscule structuren van een chip. Maar het was Nederlands onderzoek, met een hoofdrol voor professor Fred Bijkerk van het instituut FOM Rijnhuizen in Nieuwegein, dat leidde tot een werkbaar concept.

Overname

Voor ASML was de overname van de Amerikaanse concurrent SVG in 2001 het startsein om vol in te zetten op EUV. Europese kennis, gecombineerd met wat de nieuwe collega's in Amerika wisten, was de basis.

Experimentele apparaten

ASML hoopte EUV in 2005 al in de chipmachines te kunnen toepassen, maar het liep heel anders, zoals we nu weten. Pas in 2006 waren de eerste resultaten zichtbaar toen ASML twee EUV-machines bouwde. Het waren slechts experimentele apparaten bedoeld voor onderzoek. Een daarvan kwam bij het Leuvense Imec in België te staan en de andere bij een universitair instituut in Albany in de Verenigde Staten.

Nieuwe investering

Ook al besefte niemand het nog bij ASML, de tocht door de woestijn was nog lang niet ten einde. Gelukkig bleven de grootste chipfabrikanten ter wereld, Intel, Samsung en TSMC, heilig geloven in de Veldhovenaren; gezamenlijk investeerden zij in 2012 een nieuw miljardenbedrag in ASML. Met dit geld werden nog eens 1.200 extra ingenieurs aangenomen, die vijf jaar non-stop aan EUV konden werken.

Ontwikkelkracht bundelen

Om de onderlinge verbondenheid te benadrukken namen de chipfabrikanten een aandeel van gezamenlijk 25 procent in ASML. Dat aarzelde niet en nam om te beginnen het Amerikaanse Cymer over, dat bleef steken in de ontwikkeling van de EUV-lichtbron. Door de ontwikkelkracht van beide bedrijven te bundelen konden sneller stappen worden gezet.

Proefdraaien

In 2010 maakte ASML de eerste zes EUV-machines om klanten er vertrouwd mee te maken. Sinds 2014 wordt er bij klanten proefgedraaid met de hightechapparaten. Volgend jaar lopen de eerste machines van de band waarmee ook echte chips zullen worden geproduceerd.